聚合物分子层沉积系统采购采购公告

聚合物分子层沉积系统采购采购公告
项目名称 聚合物分子层沉积系统采购 项目编号 SUSTech-JC-****-***** 成交方式 最低价成交 采购方式 公开竞采 公告开始时间 ****-**-** **:**:** 公告结束时间 ****-**-** **:**:** 预算(元) ******.** 备注 采 购 明 细 序号 名称 数量 单位 * 聚合物分子层沉积系统（核心货物） * 套 品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 * 腔体与框架 *.*反应腔体应采用耐高温腐蚀的材料***L型不锈钢，经过表面抛光处理，可抗高温腐蚀。 *.* 为避免有机薄膜与无机薄膜管路的交叉污染，要求反应腔体内有两个完全独立的进气口，无机薄膜沉积的进气管路与有机薄膜沉积的进气管路相互独立。如有需要，用户可要求实地验证。 *.*样品尺寸：单片最大可达*英寸，厚可达*mm。 *.* 所有反应物输运管路壁控温，可加热到***℃，确保管路没有反应物冷凝，避免由于冷凝破坏表面反应机制，导致CVD式反应薄膜不均匀、交叉污染、堵塞纳米孔洞入口、颗粒等问题。 *.* 样品加热最高温度：***℃ *.*反应物采用侧向流模式，采用双向进气与双向出气方式，呈正方形分布在基片四周，确保反应物均匀与基片接触，确保薄膜均匀。 *.*产品具有连续沉积与停留沉积模式，根据反应进程的快慢选择，确保反应充分。 *.* 腔体盖子的开启采用先按再抬起的模式打开，镀膜时按下并用螺丝锁紧，确保快捷与安全。 *.* 带红黄绿预警灯，紧急关机按钮，确保设备与人员安全。 *.** 设备带可移动轮脚，方便用户移动设备，并可锁死。 *.** 设备触摸屏控制系统与设备框架一体化，方便用户操作。 * 反应物输运管路、脉冲系统与反应物容器 *.* 可配备*套脉冲系统，将来可升级。 *.* 管路必须配置质量流量控制器（MFC）、温度传感器、压力传感器、脉冲阀。 *.* N*气或Ar作为载气，连接到输运管路上，用于反应物蒸汽的快速输送并清洗管路。源管路采用***L型不锈钢材料，内抛光，所有连接接头均采用金属密封。 *.* PMLD脉冲阀，国际知名品牌，品牌Swagelok。响应时间** ms，寿命**,***,***次脉冲，电脑控制。 *.* 高精度气体质量流量计，量程为***sccm，控制精度为±*%，工作温度为室温。 *.* 管路温度：室温～***℃，控制精度±*℃；容器加热温度：室温～***℃，控制精度±*℃，容器为AISI ***L不锈钢材料，容积*** ml，配置手动隔离阀。 * 真空泵 干泵，泵极限真空：*Pa，抽速速率：**L/s * 软件系统 *.* 为方便操作与监控工艺参数，采用触摸屏电脑控制，自动工艺控制软件，具备工艺参数实时监控显示功能，带系统互锁和设备急停功能。 *.* 软件可预设各种实验配方设计与储存、读取，能够输出实验数据。 *.* 设备具有沉积有机单分子层，同时具有沉积有机-无机杂化单分子层薄膜的功能，随机附带工艺配方，可以沉积Al-EG(HQ, alucone)、Ti-EG(HQ, Tincone)、Zn-EG(HQ, zincone)、聚酰胺(polyamide)、聚酰亚胺(Polyimide)、聚脲(polyurea)。需提供相应的实验数据或文献证明材料。 * 电源 适用于***或***V（±**％），**Hz供电电源。配置符合中国有关标准要求的电源插头或提供适当的转换插座。 * 所响应产品必须是全新，未使用过的原装合格正品（包括零部件），如需安装或配置软件，须为正版软件。 售后及质保要求 *.质保期：中标人提供制造商免费质保【*】年。 *.维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，【*】小时内响应，【**】小时内派员上门现场维护，并在【***】小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的**％作为进度款；设备到达指**装现场且安装、调试合格并提供全额发票后支付合同总额的**％；余款*％待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。 交货期 合同签订后***天内（自然日） 报价网址：http://jc.biddingoffice.sustech.edu.cn