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招标网 > 招标采购 > 中标公告 > 原子层沉积设备-CB106982020003718

原子层沉积设备-CB106982020003718

2020-11-21 广东省 深圳市
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  • 2020-11-21
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正文内容

·公告摘要:

受业主*******委托,招标网于2020年11月21日发布中标公告:原子层沉积设备-CB106982020003718。请中标单位及时与业主相关负责人联系,及时签署相关商务合同;未中标供应商也可及时向业主提出相关质疑。于此项目有关的其他供应商也可与中标商*******联系,及时提供后续设备与服务。

*** 部分为隐藏内容,查看详细信息请

·部分信息内容如下:

基本信息 申购单号 申购主题原子层沉积设备 采购单位 竞价开始时间-- 竞价截至时间-- 币种人民币 付款方式货到安装调试验收合格后付全款 备注说明 质疑说明如果对成交结果有异议请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑 成交总额 送货时间合同签订后天内送达 安装要求免费上门安装含材料费 收货地址 竞价结果 采购项 品牌 单项预算 成交单价 质保及售后服务 技术参数 数量 单位 型号 成交总价 成交供应商 原子层沉积设备 不限 按行业标准提供服务质保期个月 禁止虚报参数中标后不能满足规格参数者按合同金额的进行赔偿 工作条件 电源电压AC VplusmnHz三相五线 长时间连续工作满足times即每周天每天小时运行 设备基本规格 适用于英寸英寸英寸英寸英寸及破片加工 设备运行过程中整机外壳温度均不高于℃以保证操作的安全性 腔体系统要求 真空腔材质为L不锈钢漏率≤times-mbarmiddotLs腔体表面经过电解抛光处理 样品台尺寸不小于φmm可放样品最大高度不小于mm 腔体开关方式可通过界面操作系统自动开关腔门配备安全互锁检测功能确保腔门在安全状态下开关耐腐蚀O-ring密封 真空腔预留等离子体接口可在原腔体基础上加装等离子体系统无需更换腔体即可实现PEALDThermal-ALD双模式切换 管路系统要求 至少配备路前驱体源管路路可加热源适用于需要加热的固态或液态前驱体源每路源至少配备套源瓶系统和个国外进口阀门源瓶系统配备个国外进口高温手动阀经过电解抛光处理且体积不小于mL的不锈钢源瓶阀门配备安全互锁检测功能在真空腔门打开时处于强制关闭状态防止前驱体暴露在空气中 至少配备路反应物管路包括NHHHO每一路反应物管路配备个国外进口阀门和一个计量调压阀 前驱体管路配有载气N或Ar载气管路前端需配备计量调压阀进口气动阀等 吹扫气路采用高精度进口质量流量控制器MFC进行流量控制MFC控制精度在-量程范围内精度为plusmn-量程范围内精度为plusmn可重复精度为plusmn漏率lt x - PamiddotmsHe 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料所有气体管路连接处采用金属VCR密封 管路排布符合工业标准从源瓶到真空腔的所有管路需要配备加热箱保证管路阀门等位置受热均匀 加热系统要求 样品台温度室温至℃可控控制精度ltplusmn℃ 腔体四周及上下盖板具备加热保温功能加热温度室温至℃可控控制精度ltplusmn 加热箱及源瓶温度室温至℃可控控制精度plusmn℃管路热电偶响应时间lt秒加热用固态继电器采用进口品牌符合 ULCSAROHS标准 真空泵采用进口双级有缝式旋片真空泵抽速mh噪音<dB 真空测量至少配备个真空压力计包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计其中高真空压力计采用进口薄膜压力规要求高精度命必须对腐蚀性介质具有极高的耐受性可在工艺进行的同时进行压力监测量程范围Torr Torr精度plusmn读数响应时间ltmS分辨率≤FS符合CEROHS 规范其中大气真空压力计采用高精度真空压力计量程范围Torr Torr 设备软硬件规格 控制系统配备工控机和进口PLC工控机配备SSD固态硬盘安装正版操作系统PLC可支持ms扫描周期 输入设备配备鼠标键盘和触摸显示器显示器尺寸不小于inch可度自由旋转可调视距视角自由悬停 界面操作系统支持历史数据报警日志的存储和导入导出功能 界面操作系统需实时展示系统加热状态所有阀门开关状态腔室压力状态 界面操作系统具备配方编辑功能可对工艺参数沉积温度循环次数脉冲时间等进行编辑 用户可设定设备及工艺运行时的报警参数包括但不限于温度压力流量等 用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数包括前驱体源用量追踪及提醒功能 界面操作系统具备用户权限管理功能可根据用户级别设定使用权限针对操作人员分级管理 界面操作系统可自动完成真空获取升温薄膜沉积降温等整个工艺过程并支持多个配方交替运行实现单一和多层薄膜材料的制备 所有管路系统配备管路清洗功能确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留 阀门配备SMC电磁阀电磁阀响应时间ltms带过电压保护回路带动作指示灯 工艺验收标准 英寸?mm单晶硅片基底上沉积TiO薄膜在nm的厚度范围内薄膜的不均匀性<%均匀九点 套 不限

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